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6~8英寸半導(dǎo)體硅片拋光自動(dòng)線(四連拋+下片+清洗貼片回流線)
整機(jī)包含自動(dòng)下片機(jī)、陶瓷盤收納段、陶瓷盤清洗機(jī)和貼片機(jī)四個(gè)部分
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